Nanonics近場(chǎng)掃描光學(xué)顯微鏡說(shuō)明：

我們的創(chuàng)新
NANONICS IMAGING LTD.一直是掃描探針顯微鏡（SPM）領(lǐng)域中將近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡（NSOM）技術(shù)和原子力顯微鏡（AFM）技術(shù)*結(jié)合的*。公司成立于1997年，在過(guò)去的十年里我們將新的概念應(yīng)用到SPM系統(tǒng)中從而開拓了SPM市場(chǎng)領(lǐng)域一個(gè)新的視角。 Nanonics使用懸臂近場(chǎng)光學(xué)探針為業(yè)內(nèi)提供了革命性的近場(chǎng)光學(xué)成像；同時(shí)也引入了雙探針技術(shù)、樣品掃描AFM系統(tǒng)；*個(gè)提供近場(chǎng)光學(xué)（NSOM）/原子力顯微鏡（AFM）低溫系統(tǒng)，Raman-AFM系統(tǒng)，多探針AFM系統(tǒng)和掃描電鏡（SEM）/AFM系統(tǒng)。

NANONICS是業(yè)界成立并且對(duì)此類系列產(chǎn)品經(jīng)驗(yàn)豐富的公司之一，其產(chǎn)品榮獲過(guò)許多大獎(jiǎng)。在強(qiáng)大的NSOM/AFM的整合操作系統(tǒng)推動(dòng)下，今天NANONICS繼續(xù)以強(qiáng)大的優(yōu)勢(shì)和全面的系統(tǒng)著市場(chǎng)。NANONICS憑借實(shí)力和品質(zhì)，其產(chǎn)品涉足的領(lǐng)域從科研到工業(yè)，從生物學(xué)到半導(dǎo)體，從化學(xué)制品到無(wú)線電通訊，應(yīng)用范圍極其廣泛。

我們的理念 – 提供SPM，近場(chǎng)光學(xué)和顯微鏡整合方案
Nanonics 致力于制造先的SPM儀器，我們將SPM技術(shù)和其它顯微鏡表征技術(shù)*的整合在一起。在納米科技表征技術(shù)領(lǐng)域中，為用戶提供一個(gè)開放并潛力的SPM表征技術(shù)平臺(tái)。

我們的技術(shù)
作為一家商業(yè)公司，我們有著自己*的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。我們能提供大量種類齊全的納米探針。包括業(yè)內(nèi)的懸臂近場(chǎng)光學(xué)（NSOM）探針到熱學(xué)，電學(xué)探針。這些外露光學(xué)探針的運(yùn)用結(jié)合具有保護(hù)的3D平面掃描技術(shù)為我們的系統(tǒng)提供了一個(gè)廣闊開放的光學(xué)平臺(tái)——這是我們能夠?qū)FM技術(shù)和其它顯微鏡表征技術(shù)*結(jié)合的重要原因。

我們的團(tuán)隊(duì)
我們擁有一支專家團(tuán)隊(duì)為我們提供創(chuàng)新技術(shù)和高性能的產(chǎn)品。在過(guò)去的十年里我們擁有40多名員工并且組建了zui大的SPM專家和科學(xué)家團(tuán)隊(duì)。 團(tuán)隊(duì)直接由近場(chǎng)光學(xué)奠基人之一的Aaron Lewis 教授帶領(lǐng)十五名科學(xué)家為客戶提供以SPM為平臺(tái)的產(chǎn)品和。

我的技術(shù)服務(wù)
我們致力于提供客戶高性能的業(yè)內(nèi)級(jí)產(chǎn)品和高附加值的。從系統(tǒng)安裝開始，我們就區(qū)別于其它競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，為你提供高素質(zhì)的技術(shù)專家安裝設(shè)備，提供SPM技術(shù)領(lǐng)域的專家指導(dǎo)。通過(guò)一對(duì)一的與客戶溝通幫助客戶使用儀器。Nanonics在業(yè)內(nèi)已經(jīng)有一大批客戶并且客戶通過(guò)使用我們的儀器發(fā)表了不少好的文章。這些客戶和客戶的成績(jī)也同樣見證了我們?yōu)榭蛻籼峁┝说耐暾腟PM和其他表征整合方案和。


Nanonics近場(chǎng)掃描光學(xué)顯微鏡的基本構(gòu)造：

進(jìn)行NSOM實(shí)驗(yàn)，必須將點(diǎn)光源靠到樣品表面納米距離，然后點(diǎn)光源掃描樣品表面，再收集探測(cè)經(jīng)過(guò)樣品表面的光學(xué)信號(hào)。我們使用經(jīng)金屬涂層處理的帶孔洞椎形光纖作為NSOM探針。光經(jīng)耦合進(jìn)入探針，從亞光波長(zhǎng)孔徑的探針*發(fā)出，NSOM的分辨率就是由孔徑的大小決定（*可以達(dá)到50納米）。點(diǎn)光源和樣品表面的距離通常通過(guò)正常的力反饋機(jī)制（與AFM相同）控制，因此可以進(jìn)行接觸、敲擊和非接觸模式的NSOM實(shí)驗(yàn)。針對(duì)不同的材料和實(shí)驗(yàn)，通常有四種NSOM操作模式：

* 透射模式成像——樣品經(jīng)過(guò)探針照明，光通過(guò)樣品并與樣品相互作用后被收集探測(cè)；
* 反射模式成像——樣品經(jīng)過(guò)探針照明，光從樣品表面反射并被收集探測(cè)；
* 收集模式成像——樣品經(jīng)遠(yuǎn)場(chǎng)光源照明（從上或下面均可），探針將光信號(hào)從樣品表面收集；
* 照明收集模式成像——用同一根探針同時(shí)進(jìn)行照明和收集探測(cè)反射光；

在近場(chǎng)光學(xué)領(lǐng)域，部分掃描模式只有通過(guò)Nanonics提供的*玻璃光纖探針才能完成，因?yàn)槲覀?的光纖探針具有很好的波導(dǎo)性能。

收集的光可通過(guò)多種探測(cè)器探測(cè)，如APD（Avalanche Photo Diode）、PMT（Photomultiplier Tube）、InGaAs探測(cè)器、CCD或通過(guò)光譜儀探測(cè)，通過(guò)探測(cè)器得到的信號(hào)經(jīng)過(guò)數(shù)據(jù)處理得到樣品材料的NSOM圖像。

多探針系統(tǒng)
Nanonics原子力顯微鏡zui多可以同時(shí)進(jìn)行四探針測(cè)試，光纖探針各自獨(dú)立控制，可以同時(shí)分別、獨(dú)立進(jìn)行如滴液、加壓，電學(xué)，熱學(xué)方面的測(cè)試等不同的工作。

技術(shù)的*扁平3D 掃描臺(tái)
具有技術(shù)的掃描臺(tái)上下光路開闊，可以將上，下置光學(xué)共聚焦顯微鏡*整合到AFM掃描平臺(tái)上，在無(wú)需更換任何探頭的情況下同步完成的一系列的探針掃描，光學(xué)測(cè)量，力學(xué)測(cè)量，熱學(xué)電學(xué)測(cè)量等測(cè)試手段，節(jié)約了用戶大量的時(shí)間和精力并保證了樣品測(cè)試的連貫性。通常很多廠家儀器做不同測(cè)試的時(shí)候探頭都需要更換，不能同步聯(lián)用并且費(fèi)時(shí)費(fèi)力。Nanonics這項(xiàng)是目前市場(chǎng)上*的優(yōu)勢(shì)技術(shù)，并且探針掃描臺(tái)和樣品掃描臺(tái)可以獨(dú)自運(yùn)作，即可以探針不動(dòng)，樣品移動(dòng)；或者樣品不動(dòng)，探針移動(dòng)，其它廠家無(wú)法提供這種*的掃描方式。掃描的步進(jìn)位移通過(guò)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)精度*，Nanonics原子力顯微鏡分別提供一個(gè)85um樣品掃描臺(tái)和30um探針掃描臺(tái)，XY方向的掃描范圍是110*110um。尤其是Z方向的大掃描范圍是所有AFM廠家無(wú)法提供的。另外一個(gè)3D掃描臺(tái)提供探針掃描和樣品掃描兩種模式，在所有AFM 電鏡中是*的設(shè)計(jì)。

*的音叉反饋機(jī)制
常規(guī)的AFM反饋通過(guò)激光反射反饋，具有噪音大，調(diào)試?yán)щy，受干涉情況；尤其在液體中或者做光學(xué)測(cè)試的時(shí)候，例如近場(chǎng)光學(xué)，AFM-Raman測(cè)試中，容易被干涉或者干涉有效信號(hào)。音叉反饋采用常規(guī)力學(xué)反饋避免了以上所有弊病，安裝簡(jiǎn)單，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。
技術(shù)的懸臂光纖彎針 。Nanonics 原子力顯微鏡的玻璃探針可提供暢通的光學(xué)通道，光線能以與傳統(tǒng)直線式近場(chǎng)光學(xué)元件相同的效率和偏振性傳輸?shù)教结?。玻璃探針可以做成中空型，用于加載光纖或?qū)崿F(xiàn)Nano-Pen功能。

多種探針通用平臺(tái)
Nanonics 原子力顯微鏡系統(tǒng)不僅可以使用玻璃光纖探針，也可以使用傳統(tǒng)的商業(yè)化AFM/NSOM硅探針，提供了一個(gè)通用多探針使用平臺(tái)?？蛻粢部梢砸笫褂贸Ｒ?guī)硅懸臂探針。另外Nanonics還可以根據(jù)客戶不同的需要定制探針。

的Z 方向探測(cè)深度
MV4000在Z方向zui大可探測(cè)深度為140um?，非常適合深溝狀樣品。*的懸臂設(shè)計(jì)不僅能探測(cè)深溝底部的形貌，而且可以對(duì)側(cè)面進(jìn)行檢測(cè)。常規(guī)的硅懸臂探針無(wú)法做深溝探測(cè)。

*的光學(xué)友好性
Nanonics原子力顯微鏡的玻璃光纖探針可提供暢通的光學(xué)通道，可同時(shí)和正置與倒置顯微鏡配合使用，實(shí)現(xiàn)透射式、反射、照明模式、收集模式（Nanonics*的）等多個(gè)功能。光纖探針具有良好的光學(xué)性能和光導(dǎo)性能，這是硅懸臂探針無(wú)法做到的。

拉曼連用平臺(tái)
MV4000的玻璃光纖探針具有光學(xué)友好特性，可與任何拉曼光譜儀整合，例如常用的Reinshaw 和JY Raman系統(tǒng)?？蓪?shí)現(xiàn)在線AFM形貌掃描，拉曼Mapping，自動(dòng)共聚焦，提高拉曼的精度。配合NSOM可以完成微區(qū)Raman，并且還可以做熒光和微區(qū)熒光掃描。由于*的掃描平臺(tái)，AFM-Raman 聯(lián)用不僅可以掃描透明樣品還可以掃描不透明的塊狀和薄膜樣品，這也是在AFM-Raman 聯(lián)用案例中*的設(shè)計(jì)。

TERS玻璃探針
Nanonics在玻璃光纖探針的*采用的獨(dú)立金球技術(shù)，與其他涂層探針相比，不會(huì)因在長(zhǎng)時(shí)間使用后，受到激光影響而脫落，更為穩(wěn)定，效率更高。配合*的掃描臺(tái)設(shè)計(jì)，可以在光源位置找到*激光偏振位置獲得的TERS信號(hào)源。這也是其它廠家不具備的特點(diǎn)。

原子力掃描表征：
-接觸模式（可選）
-探針或者樣品掃描都具有所有原子力顯微鏡的操作模式。
近場(chǎng)光學(xué)成像和激發(fā)表征
-透射，反射，收集，激發(fā)模式
界面差別對(duì)比表征
-反射和透射模式
折射系數(shù)分析表征
-反射和透射模式
熱導(dǎo)和阻值擴(kuò)散分析表征
-接觸AC模式
-無(wú)反饋激光通過(guò)外部媒介導(dǎo)入半導(dǎo)體，使用音叉反饋
在線遠(yuǎn)場(chǎng)共聚焦拉曼和熒光光譜成像
-反射和透射模式
-針尖增強(qiáng)拉曼散射和在超薄層面上做選擇性拉曼散射，例如應(yīng)變硅
納米刻蝕
-納米“筆"探針輸送多種化學(xué)物質(zhì)和氣體
-近場(chǎng)光學(xué)刻蝕和常規(guī)方式的納米刻蝕技術(shù)比如電子氧化等，并且可-以同時(shí)使用另外一根探針做在線同步分析
納米壓痕
-使用兆級(jí)帕斯卡壓強(qiáng)，通過(guò)另外一個(gè)附加探針的在線同步分析將力學(xué)探針精確定位和控制。

SPM 掃描頭參數(shù)：

樣品掃描器
-壓電掃描平臺(tái) （3D 掃描臺(tái)™）
-高度7毫米
探針掃描器
-四個(gè)獨(dú)立控制的壓電掃描平臺(tái)（3D 掃描臺(tái)™）模塊
-高度7毫米
掃描范圍
-每根單探針掃描范圍30 微米 （XYZ方向）
-僅樣品掃描器掃描范圍100微米（XYZ方向）
-樣品掃描器和單探針掃描器掃描范圍130微米 （XYZ方向）
-樣品掃描器和雙探針掃描器掃描范圍160微米（XY方向）
掃描分辨率
- < 0.05 納米 （Z方向）
-< 0.15納米（XY方向）
-< 0.02納米（XY方向） 低電壓模式
粗定位
-樣品粗調(diào)定位： XY 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)范圍5mm-分辨率0.25微米
-針尖粗調(diào)定位：
-XY方向馬達(dá)驅(qū)動(dòng)-驅(qū)動(dòng)范圍5mm-分辨率0.25微米
-Z方向馬達(dá)驅(qū)動(dòng)-驅(qū)動(dòng)范圍10mm-分辨率0.065微米
反饋機(jī)制
-音叉反饋（標(biāo)準(zhǔn)）
-激光反射反饋（可選）
常規(guī)樣品尺寸
-標(biāo)準(zhǔn)尺寸可達(dá)到16毫米
-使用上置光學(xué)顯微鏡操可達(dá)到34毫米
-不使用樣品掃描方式可以達(dá)到55毫米
-有些客戶樣品尺寸達(dá)到200mm也能掃描
-非常規(guī)尺寸樣品：例如橫截面高低起伏較大的樣品等一些特殊形狀樣品
探針
-*的玻璃探針，針尖可以提供不同的形貌和參雜金屬顆?；蛘咄繉?br/>各種形式的常規(guī)硅懸臂探針也可以使用

成像分辨率：

遠(yuǎn)場(chǎng)成像分辨率
-到達(dá)衍射限制
光學(xué)成像分辨率
-非共聚焦下光學(xué)分辨率500納米左右
共聚焦成像分辨率
-200納米
近場(chǎng)光學(xué)成像分辨率
-安裝時(shí)保證100納米分辨率；50納米分辨率也可以提供
形貌成像分辨率
-Z 方向噪音有效值0.05 納米（RMS）
-XY 橫向分辨率：根據(jù)樣品和針尖直徑情況
熱學(xué)成像分辨率
-至少100納米
阻值成像分辨率
-至少25納米

熱學(xué)&阻值成像：

溫度參數(shù)
-300度或者更高，要考慮樣品情況
熱學(xué)參數(shù)
-*的雙根納米鉑絲嵌在絕緣玻璃探針中
-熱敏感度0.01 oC
-測(cè)量阻值改變速率為0.38 Ω/oC
阻值特點(diǎn)
-*的雙根納米鉑絲嵌在絕緣玻璃探針中并且可以做出不同的形狀結(jié)構(gòu)和涂層
-超高電勢(shì)分辨率
-接觸電阻極微小
-電學(xué)穩(wěn)定& 抗氧化

在線光學(xué)和電子/離子光學(xué)掃描同步完成

可以完成的表征類別
-遠(yuǎn)場(chǎng)光學(xué)，共聚焦光學(xué)，近場(chǎng)，微區(qū)拉曼，掃描電子顯微鏡（SEM）或者聚焦離子束（FIB）
整合優(yōu)勢(shì)
-樣品掃描臺(tái)上下光路開闊，可以做光學(xué)或電子/離子光學(xué)特征同步掃描聯(lián)用

-將所有形式的光學(xué)顯微鏡整合在一起，包括上置光學(xué)顯微鏡和下置光學(xué)顯微鏡同時(shí)整合在探針掃描平臺(tái)上

-整合了所有標(biāo)準(zhǔn)微區(qū)拉曼180度背反射幾何形貌配置。下置光學(xué)顯微鏡和Nanonics*的上下置光學(xué)顯微鏡可以做不同的透明和非透明樣品

-具有所有常規(guī)的遠(yuǎn)場(chǎng)光學(xué)操作模式包括相位成像和界面差別對(duì)比

-可以使用上置，下置和雙置光學(xué)顯微鏡做任何模式近場(chǎng)光學(xué)掃描，無(wú)需更換掃描頭保證了實(shí)驗(yàn)結(jié)果穩(wěn)定性和可重復(fù)性。
探測(cè)器類別
-PMT， APD 或者InGaAs 紅外探測(cè)器
激光光源
-可提供深紫外到近紅外激光
電視頻系統(tǒng)
-在線CCD 視頻成像